Wielokomorowa aparatura depozycyjna

Aparatura zawiera komorę depozycyjną do wzrostu cienkich warstw, dwie komory załadowcze (włączając w to komorę intro tunelu, przygotowaną do załadunku kaset mogących pomieścić aż do 15 nośników próbek) i wielosegmentowy tunel transferowy. Druga część aparatury jest w drodze (komora "core" z wyposażeniem, komora do cięcia próbek i trzecia komora załadowcza)!
|
|